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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제22권 제1호
발행연도
2009.1
수록면
1 - 6 (6page)

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Air core based transformers have been designed, simulated and fabricated by using micromachining process for the application of wireless power transmission with the range of frequency from 1 GHz to 20 GHz. Fabricated transformers are the types of solenoid transformers with primary and secondary coils. the size of fabricated transformer is 1.1 X 1.5~2.15 mm including ground shield. Transformers have been measured by dividing two groups based on the turns ratio between primary coil and secondary coil which are 1:1 transformers(the number of turns of primary coil and secondary coil: 3/3, 5/5, 7/7) and 1:n transformers(the number of turns of primary coil and secondary coil: 3/3, 3/6, 3/9). As a result of the measurement, the lowest insertion loss of transformers ranged from 2 dB to 2.8 dB according to the number of turns between primary coil and secondary coil. And the lowest insertion loss from the transformers was measured at the frequency from 7 GHz to 11 GHz according to the number of turns between primary coil and secondary coil. Based on the measurement data from the microfabricated transformers, the transformer with the 3/3 turns in the primary coil and secondary coil showed best performance compared to others in terms of lowest insertion loss, lowest insertion loss frequency and bandwidth.
#Micro transformer #Air core #Wire power transmission

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Cendoya. I. / 2007 / A new methodology for the on-wafer characterization of RF integrated transformers / IEEE Transactions on Microwave Theory and Techniques 55 : 1046 ~ google schola Clark T. C. Nguyen / 1998 / Micromachined devices for wireless communications / Proceeding of the IEEE 86 (8) : 1756 ~ google schola H. Jiang / 2002 / Reducing silicon-substrate parasitics of on-chip transformers / IEEE Int. Microelectromech. Syst. Conf. Tech. Dig. : 649 ~ google schola H. S. Kim / 1997 / Impedance properties of thin film inductors by fabricated wet etching method / J. of KIEEME (in Korean) 10 (8) : 813 ~ google schola Hsu, H.-M. / 2007 / An on-chip transformer in silicon-based technology / Journal of micromechanics and microengineering 17 (8) : 1504 ~ google schola

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