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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제25권 제8호
발행연도
2012.1
수록면
593 - 601 (9page)

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규칙성 메조기공 산화물 박막은 작은 밀도, 높은 비표면적 그리고 뛰어난 단열효과 등으로 많은 관심을 받고 있다. 특히 자가집합 방식으로 제조되는 규칙성 메조기공 산화물 박막은 공정의 용이성과 높은 재현성과 같은 장점을 나타낸다. 본 논문에서는 SiO2, Al2O3 및 TiO2 규칙성 메조기공 산화물 박막을 조성과 공정 변수 등을 조절하여 제조하고 구조적, 열적, 기계적 특성들을 살펴보았다. 결론적으로 규칙성 메조기공 산화물 박막의 뛰어나고 독특한 특성들로부터 그들이 새로운 기술분야에서 중요한 핵심 소재중 하나로 자리매김을 할 것임을 알 수 있었다.

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