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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제24권 제10호
발행연도
2011.1
수록면
839 - 843 (5page)

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Thermal evaporation 방법을 이용하여 1,100℃, 30분 동안 Pd-ZnO의 반응을 통하여 산소분압을 x sccm (x= 0, 10, 20, 40)를 변화시켜 ZnO 나노 구조물의 성장 변화를 관찰하였다. DTA (Differential Thermal Analysis)를 통해 Pd(5mol%)+ZnO (PZ-5) 혼합 파우더의 흡열반응 peak이 800℃, 1,100℃에서 관찰되었으며, Weight loss(%)와 ICP (Inductively Coupled Plasma) 분석을 통해 산소 분압의 증가로 인해 PZ-5 혼합 파우더의 감소된 Zn(ppm) concentration을 관찰할 수 있었다. 모든 시편에서 (002) 방향으로 우선 성장된 ZnO 나노구조물이 관찰되었으며, 산소 분압이 10 sccm에서 needle형태로 성장된 ZnO 나노 구조물의 지름은 대략 65 nm이며, 길이는 대략 2 μm로 성장되었다. 산소분압을 통해서 조절된 Zn vapor양을 통해 needle형태의 ZnO 나노구조물을 성장시킬 수 있었다. PL (Photoluminescence)측정을 통해서 ZnO 고유의 NBE (near band-edge emission) peak 과 DLE (deep level energy) peak이 관찰되었다.
#ZnO nanostructure #Thermal evaporation #O2 gas #Tube furnace

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