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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제25권 제11호
발행연도
2012.1
수록면
922 - 925 (4page)

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튜브형 퍼니스를 이용하여 양질의 단결정 골드 나노선을 성공적으로 합성하였다. 골드 나노선은 S-L-S(solid-liquid-solid) 성장기구를 이용하여 코닝글라스와 웨이퍼 기판 위에 기상 합성법으로 제작하였다. 골드 나노선 성장에서 촉매와 나노선의 소스 역할을 한 골드 박막은 스퍼터링 공정을 통해 증착하였다. 합성된 골드 나노선의 평균 길이는 실리콘 웨이퍼와 코닝그라스 기판 위에서 모두 약 1 μm였고, 직경과 밀도는 골드 박막의 두께에 따라 차이가 있었다. 열에 의한 골드 파티클 촉매 및 골드분자의 과포화 상태를 유도하기 위해 골드 박막의 두께는 10 nm, 20 nm로 제한하였다. 골드 나노선의 합성은 캐리어 가스가 주입되지 않은 상태에서 이루어졌으며 합성 온도에 따른 변화를 관찰하기 위하여 각각의 샘플에 다른 온도를 적용하였다. 온도가 증가함에 따라 골드 나노와이어의 생성과정을 확인할 수 있었다. 각각의 합성온도 중 코닝글라스와 웨이퍼 기판 위에서 모두 600℃에서만 합성된 골드 나노와이어 형태가 관찰되었다.

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