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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제22권 제8호
발행연도
2009.1
수록면
682 - 688 (7page)

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A periodic away of zinc oxide(ZnO) micro-rods as fabricated by using chemical bath deposition and photo-lithography. Vertically aligned ZnO micro-rods array was successfully grown by chemical bath deposition method on ZnO seed layer. The ZnO seed layer was deposited on glass and the patterning was made by standard photo-lithography technique. The selective growth of ZnO micro-rods as achieved with the masked ZnO seed layer. The fabricated ZnO micro rods were found to be single crystalline and have grown along hexagonal c-axis direction of (0002) which is same as the preferred growth orientation of ZnO seed layer.

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