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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제24권 제11호
발행연도
2011.1
수록면
925 - 928 (4page)

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페로브스카이트 구조를 가진 나이오베이트와 탄탈레이트는 미래산업에 혁신적인 재료로서 각광을 받고 있다. 본 논문에서는 강유전 물질인 Ag(Ta,Nb)O₃를 후막으로 제작하여 알루미나 기판위에 스크린프린팅 기법을 사용하여 제작한 후 그 특성을 분석하였다. 이 Ag(Ta,Nb)O₃후막은 일반 소성법으로 제작하였으며, 소결온도는 1,150 °C에서 약 2시간동안 소결하였다. 또한 30~100 °C까지의 온도범위를 변화시켜 Ag(Ta,Nb)O₃후막의 전기적인 특성을 분석하였다.

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