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- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2007.1
- 수록면
- 611 - 614 (4page)
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The changes in the work function(Φw) in the MgO protective layers after plasma(Ar, H2) treatment have been studied using γ-focused ion beam (γ-FIB) system. The Φw was determined as follows: Ar-plasma treatment(Φw=4.52 eV), H2-plasma treatment(Φw=5.65 eV), and non-plasma treatment(Φw=4.64 eV). The results indicated that the H-plasma could not make any effective physical etching due to the small masses of hydrogen atoms and molecules while the hydration of H-plasma could grow some contaminating materials on the surface of MgO.
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G. Y. Kim / 2003 / Work function change on O-plama treated indium-tin-oxide / Materials Science and Engineering B 100 : 275 ~
H. D. Hagstrum / 1954 / Theory of auger ejection of electrons from metals by ions / Phys. Rev. 96 : 336 ~
J. Y. Lim / 2003 / Work function of MgO single crystals from ion-induced secondary electron emission coefficient / JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 94 : 764 ~ 769
K. K. Choi / 2003 / Effect of hydrogen remote plasma annealing on the characteristic of copper film / Thin Solid Films 429 : 255 ~
K. Refson / 1995 / Water chemisorption and reconstruction of the MgO surface / Physical Review B 52 : 10823 ~
H. D. Hagstrum / 1954 / Theory of auger ejection of electrons from metals by ions / Phys. Rev. 96 : 336 ~
J. Y. Lim / 2003 / Work function of MgO single crystals from ion-induced secondary electron emission coefficient / JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 94 : 764 ~ 769
K. K. Choi / 2003 / Effect of hydrogen remote plasma annealing on the characteristic of copper film / Thin Solid Films 429 : 255 ~
K. Refson / 1995 / Water chemisorption and reconstruction of the MgO surface / Physical Review B 52 : 10823 ~
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