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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2013.1
- 수록면
- 821 - 825 (5page)
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용액 공정 법은 제조 방법이 간단하고 비용이 적게 들며 flexible 디스플레이에 적용이 용이한 장점을 가지고 있다. 그러나 이를 이용한 무기 배향막에 이온빔을 조사한 연구는 거의 없었다. 이에 HfO2를 다중 적층하여 신규 배향 막으로 적용하고자 0.1 M의 HfO2를 3회 다중 적층한 MSL 배향 막과 0.3 M의 HfO2을 1회 코팅한 ML 배향 막을 각각 제조 하여 액정의 배향 상태와 프리틸트 각을 측정하고 AFM 을 이용한 표면 거칠기와 XPS 분석을 통한 액정배향의 메카니즘을 분석 하였다. 그 결과 0.1 M을 다중 적층한 HfO2 배향막에서 우수한 배향 특성과 낮은 프리틸트 각이 구현 되었다. 또한 안정적인 표면 거칠기와 우수한 산화 특성을 확인하였다. 이를 통하여 용액 공정을 이용한 다중 적층 배향막이 안정된 액정 배향을 구현함을 알 수 있었다.
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