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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2013.1
- 수록면
- 841 - 845 (5page)
이용수
이 논문의 연구 히스토리 (3)
2013
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우리는 PDMS (polydimethylsiloxane) 스템프와 SAM (self assembled monolayer) 잉크를 이용한 마이크로 컨텍 프린팅을 이용하여 고효율 태양전지를 위한 실리콘 웨이퍼의 텍스쳐링 방법을 제공한다. 태양전지 전면의 랜덤 피라미드 구조는 inverted pyramid보다 상대적으로 낮은 효율을 갖지만 저렴한 비용으로 인해 산업용으로 널리 사용되고 있다. 지난 20년 동안 마이크로 컨텍 프린팅은 나노 기술 분야에서 실리콘 웨이퍼에 고해상도 패턴을 형성하기 위해 연구되어왔다. 이 기술은 프로세스의 단순화 및 원가 경쟁력 측면에서 충분히 매력적임에도 불구하고 실리콘 기반의 태양전지 산업에 까지 적용되지 않았다. 우리는 Au를 증착한 SiO2/Si 웨이퍼에 MHA (16-mercaptohexadecanoic acid)를 잉크로 사용하였다. SAM 잉크로 인쇄된 패턴은 etching mask 역할을 하여 패턴을 제외한 나머지 부분만 etching되고, KOH를 이용한 wet etching 공정 후에 실리콘 웨이퍼 표면에 inverted pyramid 구조가 형성된다. 이렇게 제작된 웨이퍼와 산업용 텍스쳐링된 웨이퍼의 각각 다른 표면 구조와 반사도를 비교하였다.
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