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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2013.1
- 수록면
- 731 - 735 (5page)
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YBa2Cu3O6+x 박막은 솔젤법을 이용해 SiO2/Si 기판에 스핀코팅법으로 제작했다. 제작된 박막에 열처리 온도에 따라 구조적 전기적 특성을 조사했다. 다결정 단일상 형성하는 온도인 650℃∼800℃ 온도에서 조사했다. 750℃에서 열처리한 YBa2Cu3O6+x 박막의 두께와 온도저항계수는 각각 0.31 μm and -2.92%/℃ 값을 나타냈다.
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