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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제26권 제5호
발행연도
2013.1
수록면
347 - 350 (4page)

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얇은 금속막인 은을 두 개의 비정질 산화물인 실리콘 산화아연인듐막 사이에 끼워 넣음으로써 투명한 다층 비정질 실리콘 산화아연인듐막을 유리기판 위에 형성시켰다. 은의 두께를 최적화하기 위해서 은의 두께에 따른 광학적 특성의 변화를 연구하였다. 섬구조의 형태에서 연속적인 은 박막으로의 변화는 유효두께로부터 발견된다. 은 박막의 연속성은 SIZO/Ag/SIZO 다층구조의 광학적 특성에 매우 중요한 영향을 미친다. 은 레이어가 약 15 nm일 때, 다층막은 가시광 영역인 550 nm에서 80%라는 높은 광학적 투과도를 보여주었고 IR영역에서는 낮은 방사율을 나타내었다.
#Multilayer #Thin film #Transparent conductive oxide #Low emissivity glass #SIZO

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참고문헌 (9)

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A. K. Kulkarni / 1999 / / Thin Solid Films 345 : 273 ~ google schola C. Charton / 2000 / / Proceedings of Conference on Plasma and Surface Engineering(PSE) google schola H. K. Park / 2009 / / Electrochem. Solid-State Lett. 12 : H309 ~ google schola H. K. Park / 2009 / / Sol. Energy Mater. Sol. Cells 93 : 1248 ~ google schola K. H. Choi / 2008 / / Appl. Phys. Lett 92 : 223302 ~ google schola

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