지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2008.1
- 수록면
- 1,005 - 1,009 (5page)
이용수
초록· 키워드
오류제보하기
A noble infrared λ/4 absorbing structure using metal reflector was studied for uncooled infrared sensors. This paper described the design and the fabrication of IR uncooled detectors which were composed of 21 by 21 elements using the surface micromachining technology. The characteristics of the array were investigated in the spectral region of 4.26 ㎛. The fabricated detectors exhibited the thermal mass of 9.75x10-9 J/K, the thermal conductance of 1.31x10-6 W/K, the thermal time constant of 7.4 ms, the responsivity of 1.07x105 V/W and the detectivity of 1.04x109 ㎝㎐1/2/W, at the chopper frequency of 10 Hz and the bias current of 9.22 ㎂. Finally the absorptance efficiency of λ/4 absorbing structure was about 23.2 % higher than that of absence absorbing structure.
목차
등록된 정보가 없습니다.
참고문헌 (12)
참고문헌 신청
/ / CRC Handbook
/ / www.hiemannsensor.com
A. Rogalski / 2000 / Infrared Detectors, Gordon and Breach Science Publishers, ch. 1, 2000
B.E. Cole / 1998 / Monolithic two-dimensional arrays of micromachined microstructures for infrared applications / Proceedings of the IEEE 86 : 1679 ~
E. Iborra / 2002 / IR uncooled bolometers based on amorphous GexSi1-xOy on silicon micromachined structures / J. Microelectro Mechanical Systems 11 : 322 ~
/ / www.hiemannsensor.com
A. Rogalski / 2000 / Infrared Detectors, Gordon and Breach Science Publishers, ch. 1, 2000
B.E. Cole / 1998 / Monolithic two-dimensional arrays of micromachined microstructures for infrared applications / Proceedings of the IEEE 86 : 1679 ~
E. Iborra / 2002 / IR uncooled bolometers based on amorphous GexSi1-xOy on silicon micromachined structures / J. Microelectro Mechanical Systems 11 : 322 ~
함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
비분산적외선 방식의 CO2 가스센서 개발 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2011 .06
-
NDIR 방식 가스센서의 응답특성을 기반으로 한 가스농도 산출 알고리즘 구현
대한기계학회 춘추학술대회
2016 .05
-
비분산 적외선 방식의 CO2 센서 모듈에 관한 연구
전자공학회논문지-SC
2009 .03
-
NDIR CO2센서를 이용한 자동차 실내환기 장치에 관한 연구
한국통신학회 학술대회논문집
2010 .02
-
NDIR MEMS Gas Sensor
대한전기학회 학술대회 논문집
2007 .11
-
A Study on NDIR-based CO2 Sensor to apply Remote Air Quality Monitoring System
제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집
2009 .08
-
CO₂ 검출을 위한 비분산적외선 가스센서의 MEMS 적외선 센서 제조 및 특성 평가
한국가스학회 학술대회논문집
2015 .07
-
A Front-side Dry-Etched Thermopile Detector with 3-5 ㎛ Infrared Absorber and Its Application to Novel NDIR CO₂ Gas Sensors
대한전기학회 학술대회 논문집
2008 .07
-
3-5 ㎛ 적외선 흡수체를 가진 전면 건식 식각된 서모파일과 NDIR CO₂ 가스 센서의 응용
대한전기학회 학술대회 논문집
2008 .07
-
부산지역 토양 내 천연방사성핵종 분석 및 유효선량율 평가
한국산학기술학회 논문지
2014 .06
-
MEMS 기반 마이크로 볼로메타의 비분산식 이산화탄소 가스 센서 응용
한국재료학회 학술발표대회
2005 .01
-
무선센서네트워크 기반 공기질 측정을 위한 비분산적외선 복합가스측정시스템
대한임베디드공학회논문지
2016 .01
-
ASIC 칩 내장형 비분산 적외선 이산화탄소 가스센서의 온도보상
한국가스학회지
2007 .03
-
ASIC 칩내장형비분산 적외선 이산화탄소 가스센서의 온도보상
한국가스학회 학술대회논문집
2006 .11
-
니켈 박막 증착을 이용한 고온환경 전파흡수구조용 저항막 제조
한국항공우주학회 학술발표회 초록집
2019 .11
-
진공관형 태양열 집열기의 집열관 형상에 따른 태양 복사 에너지 흡수량의 변화
한국태양에너지학회 논문집
2005 .03
-
NDIR 및 Catalytic/MOS 센서 모듈 및 캘리브레이션에 관한 연구
한국가스학회 학술대회논문집
2017 .05
-
비분산 적외선법을 이용한 배출가스 분석기의 THC 측정 성능 평가
한국자동차공학회 춘 추계 학술대회 논문집
2004 .06
-
실내 공기질 향상을 위한 비분산 적외선 이산화탄소 가스센서
전기전자재료학회논문지
2005 .01
이 논문의 저자 정보
최근 본 자료
댓글(0)
0