Ti/Au 이중층을 이용한 초전도 상전이 센서 제작

이영화; 김용함

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자료유형: 학술저널

저자정보: 이영화 김용함

저널정보: 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제21권 제10호

발행연도: 2008.1

수록면: 943 - 949 (7page)

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We report on the development of transition edge sensors for x-ray detection. The sensor technology was based on the fabrication of a superconducting film on a thin membrane. A bilayer of a superconductor, Ti, and a noble metal, Au, was e-beam evaporated on a micromachined SiNX. Another Au layer was evaporated on the two side edges of the bilayer in order not to be affected by structural imperfections at the boundaries. With the method described in the present report, the superconducting transition temperature of the device was consistently achieved to near 80 mK with a sharp transition. The energy spectrum measured with the device provided 37 eV FWHM for 5.9 x-rays. We also discuss the design and fabrication considerations as well as the performance of the device in detail.

#Transition edge sensor #TES) #X-ray detection #Superconductor

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G.C. Hilton / 2001 / Microfabricated transition-edge x-ray detectors / IEEE Trans. Appl. Supercond : 739 ~

H. Kudo / 2004 / High sensitive x-ray microcalorimeter using Bi-Au microabsorber for imaging applications / Jap. J. Appl. Phys 43 (3) : 1190 ~

J.M. Martinis / 2000 / Calculation of Tc in a normal-superconductor bilayer using the microscopic-based Usadel theory / Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. A 444 : 23 ~

K D. Irwin / 1995 / An application of electrothermal feedback for high resolution cryogenic particle detection / Appl. Phys. Lett 66 (15) : 1998 ~

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이영화

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