저온에서 증착한 CdSe막의 구조적 및 전기적 특성

박기철; 마대영

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자료유형: 학술저널

저자정보: 박기철 마대영

저널정보: 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제23권 제10호

발행연도: 2010.1

수록면: 776 - 781 (6page)

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CdSe films were deposited on glass substrates (CdSe/glass) by thermal evaporation. Substrate temperature was lowered by cooling substrate holder with liquid nitrogen. Substrate temperatures were 200℃, 0℃ and -40℃. The crystallographic properties and surface morphologies of the CdSe/glass films were studied by X-ray diffraction (XRD) and scanning electron microscopy (SEM). The optical and electrical properties of the films were investigated by dependence of energy gap, photosensitivity and resistivity on the substrate temperature. CdSe/glass showed energy gap of ～1.72 eV regardless of substrate temperature. The resistivity of the films decreased to 0.5 Ωcm by lowering the substrate temperature to -40℃. The CdSe/glass films prepared at 0℃ showed the highest photosensitivity among the films in this study.

#CdSe films #Thermal evaporation #Photosensitivity

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C. Baban / 2005 / / J. Optoelectron. Advanced Mater. 7 : 817 ~

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Dong Yock Chae / 2006 / CdSe Thin Films Grown by MOCVD Method Using New Single-source Precursors / Bulletin of the Korean Chemical Society 27 (5) : 762 ~ 764

F. C. Luoa / 1981 / / Solid State Electron. 24 : 461 ~

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