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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제22권 제5호
발행연도
2009.1
수록면
425 - 430 (6page)

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ZrO₂ film was deposited by facing target sputtering (FTS) system on polyethylene naphthalate (PEN) substrate as a gas barrier layer for flexible organic light emitting devices (FOLEDs). In order to control the heat of the FTS system caused by the ion bombardment in the cathode compared with the conventional sputtering system, the process characteristics of the FTS apparatus are investigated under various sputtering conditions such as the distance between two targets (dTT), the distance between the target and the substrate (dTS), and the deposition time. The ZrO₂ film by the FTS system can reduce the damage on the films because the ion bombardment with high-energy particles like gamma-electrons. Moreover, the ZrO₂ film with optimized condition (dTT=140 mm) as a function of the distance from center to edge showed a very uniform thickness below 5 % for a deposition time of 3 hours, which can improve the interface property between the anode and the plastics substrate for flexible displays. It is concluded that the ZrO₂ film prepared by the FTS system can be applied as a gas barrier layer or an interlayer between the anode and the plastic substrate with good properties of an uniform thickness and a low deposition-temperature.
#Facing target sputtering #Low temperature process #ZrO₂ #Gas barrier film #Uniformity

목차

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참고문헌 (13)

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A. Mitsui / 2003 / Effect of a zirconium oxide undercoat on microstructure and properties of tin-doped indium oxide films for organic light emitting devices / Thin Solid Fil google schola K.-H. Choi / 2008 / Highly flexible and transparent InZnSnOx/Ag/InZnSnOx multilayer electrode for flexible organic light emitting diodes / Appl. Phys. Lett. 92 : 223302 ~ google schola M. Drofenik / 1987 / Oxygen partial pressure and grain growth in donor-doped BaTiO3 / J. Amer. Ceram. Soc. 70 : 311 ~ google schola Permatran-W- / / Model 3/33 Operator's Manual / MOCON, Inc. google schola S. H. Kwon / 2002 / Electroluminescent properties of MEH?PPV light-emitting diodes fabricated on the flexible substrate / Synth. Met. 130 : 55 ~ google schola

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