RF 스퍼터법을 사용한 La0.6Sr0.4MnO3 박막 제조 및 미세구조와 전기전도 특성

박창순; 선호정

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자료유형: 학술저널

저자정보: 박창순 선호정

저널정보: 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제23권 제4호

발행연도: 2010.1

수록면: 303 - 310 (8page)

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We fabricated La0.6Sr0.4MnO3 thin films using radio frequency (RF) magnetron sputtering. They were grown on sapphire substrates with various deposition conditions. After the growth of the La0.6Sr0.4MnO3 thin films, they were annealed at various temperatures to be crystallized. We successfully fabricated single phase La0.6Sr0.4MnO3 thin films with high electrical conductivity. The room temperature resistivity was 1.5×10-2 Ω․cm. It can be considered that La0.6Sr0.4MnO3 thin films are one of the feasible candidates for electrodes for integrated device applications.

#La0.6Sr0.4MnO3 #Thin film #RF magnetron sputtering #Electrode

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J. J. Lee / 1995 / Electrode contacts on ferroelectric Pb(ZrxTi1-x)O3 and SrBi2Ta2O9 thin films and their influence on fatigue properties / J. Appl. Phys 78 : 5073 ~

M. B. Salamon / 2001 / The physics of manganites: Structure and transport / Rev. Mod. Phys 73 : 583 ~

M.-S. Chen / 1995 / Effects of (100)-textured LaNiO3 electrode on crystallization and properties of sol-gel- derived Pb(Zr0.53Ti0.47)O3 thin films / Jpn. J. Appl. Phys 34 : 4

N. Setter / 2006 / Ferroelectric thin films: Review of materials, properties, and applications / J. Appl. Phys., 100 : 051606 ~

P. K. Siwach / 2008 / Low field magnetotransport in manganites / J. Phys.: Condens. Matter 20 : 273201 ~

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