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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제24권 제1호
발행연도
2011.1
수록면
64 - 69 (6page)

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본 연구는 식각된 알루미늄 표면에 고주파 스퍼터링에 의해 증착된 PTFE박막에서 초 발수(super-hydrophobic) 표면이 얻어졌다. 식각후, Al 표면에 형성되는 미세구조(microstructure)의 진화가 FESEM에 의해 조사되었으며, 다양한 농도의 HCl 용액에서 알루미늄 표면에 존재하는 Al₂O₃ 층이 완전히 식각된 후 (본 논문에서는 2단계 과정으로 표현), 그 표면에 증착된 두께 10 nm 이하의 아주 얇은 PTFE 박막 표면에서 160˚ 이상의 매우 높은 물방울 접촉각이 달성되었다. X-선 광전자 분석(XPS)으로부터 PTFE박막에서 식각된 Al의 표면에너지를 효과적으로 낮출 수 있는 -CF₃와 -CF₂ 그룹의 성분들이 다량 존재하는 것이 확인되었으며, 낮은 표면에너지를 갖는 PTFE 박막의 코팅과 더불어 식각에 의해 형성된 Al의 표면 위상(surface morphology)의 패턴이 알루미늄의 초-발수 표면을 달성케 하였다.

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