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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제17권 제12호
발행연도
2004.1
수록면
1,356 - 1,361 (6page)

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High temperature superconducting coated conductor has a structure of <protecting layer>/ <superconducting layer>/<buffer layer>/<metallic substrate>. The buffer layer consists of multi-layer, this study reports the deposition method and optimal deposition conditions of YSZ(Yttria-stabilized zirconia) layer which plays a important part in preventing the elements of substrate from diffusing into the superconducting layer. YSZ layer was deposited by DC reactive sputtering technique using water vapor for oxidizing deposited elements on substrate. To investigate optimal thickness of YSZ film, four YSZ/CeO2/Ni samples with different YSZ thickness(130 nm, 260 nm, 390 nm, and 650 nm) were prepared. The SEM image showed that the surface of YSZ layer was getting to be rougher as YSZ layer was getting thicker and the growth mode of YSZ layer was columnar grain growth. After CeO2 layer was deposited with the same thickness of 18.3 nm on each four samples, YBCO layer was deposited by PLD method with the thickness of 300 nm. The critical currents of four samples were 0, 6 A, 7.5 A, and 5 A respectively. This shows that as YSZ layer is getting thicker, YSZ layer plays a good role as a diffusion barrier but the surface of YSZ layer is getting rougher.
#Buffer layer #YSZ #YBCO #DC reactive sputtering

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/ 1992. / In-plane Aligned YBa2Cu3O7-x Thin Films Deposited on Polycrystalline Metallic Substrates 60 : 769 ~ google schola / 1996. / Epitaxial YBa2Cu3O7 on biaxially tex- tured An approach to superconducting tapes with high critical current density 274 : 755 ~ google schola / 1996. / High Critical Current Density Superconducting Tapes by Epitaxial Deposition of YBa2Cu3Ox Thick Films on Biaxially Textured Metals 69 (12) : 1795 ~ google schola / 1998. / Oxidation thermodynamics of metal substrates during the deposition of buffer layer oxides 296 : 215 ~ google schola / 1998. / Use of a theoretical model to investigate RF and DC reactive sputtering of titanium and chromium oxide coatings 110 : 158 ~ google schola

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