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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제17권 제1호
발행연도
2004.1
수록면
52 - 58 (7page)

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Magneto-Impedance(MI) sensor is a highly sensitive sensor, which was able to detect a weak geomagnetic field. It also has a merit to be able to build in the low power system. In this study, their magnetic permeability and anisotropy field(Hk) as a function of some different thickness of sputtered amorphous CoZrNb films with zero-magnetostriction and soft magnetic property are investigated. In order to make a uniaxial anisotropy, film was subjected to the post annealing in a static magnetic field with 1KOe intensity at 250, 300, and 320℃ respectively for 2 hours. Magnetic properties of films are measured by using a M-H loop tracer. Magnetic permeability of a film is measured over the frequency range from 1 MHz to 750MHz. By thickening a CoZrNb film relatively, magnetic permeability and impedance are examine to design the MI sensor which drives at 50MHz, and thereof fabricated the MI sensor which drives at the 50MHz.
#Anisotropy #Permeability #MI #Magneto-Impedance) Sensor #Skin effect

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참고문헌 (11)

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/ 1977. / Magnetic anneal anisotropy in amorphous alloys 13 (2) : 953 ~ google schola / 1981. / Amorphous FeCo-SiB alloys with zero magneto- striction 52 (2) : 928 ~ google schola / 1994. / A new microstrip pickup coil for thin-film permeance meters 30 (6) : 4641 ~ google schola / 1994. / Magneto- impedance effect in amorphous wires 65 (9) : 1189 ~ google schola / 1995. / Role of magnetic anisotropy in the magneto- impedance effect in amorphous alloys 67 (6) : 857 ~ google schola

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