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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제16권 제2호
발행연도
2003.1
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A Double spiral thin-film inductor with a NiFe magnetic core is integrated with DC-DC converter IC. The NiFe core is deposited on a polyimide film as the thickness of NiFe is 2.5～3.5 ㎛. Then, copper conductor line is deposited on the NiFe core with double spiral structure. Process integration is performed by sequential processes of etching the polyimide film deposited both top and bottom of the NiFe core and electroplating copper conductor line from exposed metal pad of the DC-DC converter IC. Process integration is simplified by eliminating planarization process for top core because the proposed thin-film inductor has a bottom NiFe core only. Inductance of the fabricated monolithic DC-DC converter IC is 0.53 μH when the area of converter IC and thin-film inductor are 5×5 mm2 and 3.5×2.5 mm2, respectively. The efficiency is 72 % when input voltage and output voltage are 3.5 V and 6 V, respectively at the operating frequency of 8 MHz.
#Thin-film Inductor #NiFe core #DC-DC converter IC #Double-spiral

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