유연성 높은 캔틸레버 제작을 위한 스프레이 코팅 방법 연구

김지관

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자료유형: 학술저널

저자정보: 김지관

저널정보: 한국센서학회 센서학회지 센서학회지 제26권 제5호

발행연도: 2017.1

수록면: 366 - 369 (4page)

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This work presents a detailed study of several parameters on the spray coating method for fabricating a flexible cantilever. Con- ventionally, spin coating method have been widely used in the microelectromechanical system (MEMS) fabrication process. However, the major drawback of this method is the difficulties in protecting various topography with photoresist film, particularly when the deviceis manufactured in high aspect ratio. It is also a challenging process to form a small pattern in the etched area. On the other hand, thecommercial spray coating systems are not advantageous from an economic perspective and the technique is also providing less efficient. In order to solve these issues, we have developed a manual spray coating system which can be efficiently used by combining the acces- sories available in the laboratory. The developed spray coating system consists of a spin-coater, motorized stage, a spray gun with thecapable of controlling centrifugal force, injection amount, injection angle, and spray range. The major advantage of the proposed spraycoating system is its reasonable fabrication cost. Secondly, the system can be easily disassembled after finishing the coating experiment. Owing to the mentioned advantages, we sincerely believe that the proposed spray coating system can be effectively used in many related applications.

#MEMS #Spray coating #Spin coating #Cantilever #Photolithography

참고문헌 (10)

참고문헌 신청

Jin Xiao / 2017 / Fabrication and characterization of BaZr0. 1Ce0. 7Y0. 2O3-δ based anode supported solid oxide fuel cells by tape casting combined with spray coating / Mate

Jiseop Hwang / 2017 / Enancement of washcoat adhesion for SCR catalysts to convert nitrogen oxide using powder spray coating of TiO2on metallic honeycomb substrate / Catalysi

Liming Yu / 2006 / Spray Coating of Photoresist for 3D Microstructures with Different Geometries / J. Physics : Conference Series 34 : 937 ~ 942

Mohammad Nur E Alam Al Nasim / 2017 / Formation of few-layer graphene flake structures from graphite particles during thin film coating using dry spray deposition method / T

N. Pham / 2002 / Direct spray coating of photoresist-a new method for patterning 3-D structures / Eurosensors XVI : 182 ~ 185

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