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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국센서학회 센서학회지 센서학회지 제13권 제4호
발행연도
2004.1
수록면
258 - 263 (6page)

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In this study, we carried out a basic study for the development of optical transcutaneous pCO2 gas sensor and analyzer using non-invasive method. The basic principle of pCO2 measurement is adapted Beer lambert's law and embodied the system using NDIR method. This measuring system was composed of a IR lamp, a optical filter, a optical reaction chamber, pyroelectric sensor and a signal process. We measured EtCO2's concentration in basis step instead of pCO2 gas that can collect by inflicting heat in outer skin. We minimize the size of optical reaction chamber which takes up the largest volume, to make the portable sensor. We made optical reaction chamber in Si wafer using MEMS technology and the optical reaction chamber was shortened to 2 ㎜ and we carried out an experiment. When we injected the EtCO2 to the inside of the optical reaction chamber, we could confirm change of 4.6 ㎷. The system response time was within 2 second that is fairly fast.

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