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This paper presents the fabrication and evaluation of the novel drag force type air flowmeter using MEMS technologies for the vehicle applications. To obtain the air drag force, the flowmeter utilized the curved beam structure, which was realized by the difference of residual stress between the silicon oxide layer and the silicon nitride layer. The paddle structure was applied for the maximum air drag force, and the dual-beam was adapted to prevent distortion. The basic experiments were performed in the wind tunnel, and the stable outputs were obtained. The device was applied to the internal combustion engine, and the results were compared with the HI-DS output where the convection thermal flowmeter was used as the reference sensor. The results indicated that the comparable resolutions and response times were obtained under the various engine speeds
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K. A. Small / 2007 / Fuel efficiency and motor vehicle travel : The declining rebound effect / J. Energy 28(1):25~51
S. T. Anderson / 2011 / Automobile fuel economy standards : Inpacts, efficiency, and alternatives / J. REEP 5(1):89~108
X. Wu / 2014 / Energy efficiency and economy analysis of a range-extended electric bus in different chinese city driving cycles / IJUNESST 7(2):83~90
V. Manieniyan / 2013 / Experimental analysis of exhaust gas recirculation on DI diesel engine operating with biodiesel / Int. J. Eng. Technol 3(2):129~135
H. S. Sorathia / 2012 / Effect of exhaust gas recirculation(EGR)on nox emission from C. I. engine – A review study / IJAERS 1(3):223~227
S. T. Anderson / 2011 / Automobile fuel economy standards : Inpacts, efficiency, and alternatives / J. REEP 5(1):89~108
X. Wu / 2014 / Energy efficiency and economy analysis of a range-extended electric bus in different chinese city driving cycles / IJUNESST 7(2):83~90
V. Manieniyan / 2013 / Experimental analysis of exhaust gas recirculation on DI diesel engine operating with biodiesel / Int. J. Eng. Technol 3(2):129~135
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