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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국센서학회 센서학회지 센서학회지 제26권 제3호
발행연도
2017.1
수록면
186 - 191 (6page)

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In this study, we investigated the simultaneous detection properties of organic vapor, pressure difference, and magnetic field using a single rugate structured free-standing porous silicon (RFPS) thin film. Both the wavelength and the intensity of the rugate peaks were changed in the reflectivity spectrum measured at the thin film surface while the organic vapor was exposed to the RFPS thin film. However, when the pressure difference and the magnetic field were exposed to the film, only the rugate peak intensity was changed. Therefore, it is possible to distinguish whether or not the organic vapor is detected by simultaneously changing the rugate peak wavelength and intensity. In addition, a method of distinguishing between the pressure difference and the magnetic field detection signal has been derived by rapidly modulating the direction of the mag- netic field. This study shows that it is possible to simultaneously detect and distinguish various objects using a single RFPS thin film, and it is found that porous silicon can be utilized as a sensor sufficiently.
#Porous silicon #Organic vapor #Pressure difference #Magnetic field #Simultaneous detection

목차

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참고문헌 (12)

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Claudia Pacholski / 2013 / Photonic crystal sensors based on porous silicon / Sensors 13 : 4694 ~ 4713 google schola Hamid Ghorbani Shiraz / 2016 / Decorated CNT based on porous silicon for hydrogen gas sensing at room temperature / RSC Adv 6 : 44410 ~ 44414 google schola Hyeok-Gi Kim / 2015 / Electrostatic gas sensor with a porous silicon diaphragm / Sens. Actuator B-Chem 219 : 10 ~ 16 google schola Igor A. Levitsky / 2015 / Porous silicon structures as optical gas sensors / Sensors 15 : 19968 ~ 19991 google schola L. Mart?nez / 2016 / Sputtering temperature dependent growth kinetics and CO2 sensing properties of ZnO deposited over porous silicon / Superlattices. Microstruct 98 : 8 ~ 17 google schola

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