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자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국센서학회 센서학회지 센서학회지 제15권 제4호
발행연도
2006.1
수록면
277 - 283 (7page)

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We presented that fabrication process and characteristics of 3 axes flexible tactile sensor available for normal and shear force fabricated using Si micromachining and packaging technologies. The fabrication processes for 3 axes flexible tactile sensor were classified in the fabrication of sensor chips and their packaging on the flexible PCB. The variation rate of resistance was about 2.1%/N and 0.5%/N in applying normal and shear force, respectively. The flexibility of fabricated 3 axes flexible tactile sensor array was good enough to place on the finger-tip.
#flexible tactile sensor #FPCB #normal and shear force #package

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/ 1998. / A silicon-based tactile sensor for finger-mounted applications 45 (2) : 151 ~ 159 google schola / 1999. / Tactile sensing for mechatronics-a state of the art survey 9 : 1 ~ 33 google schola / 2000. / A silicon-based shear force sensor 84 : 33 ~ 44 google schola / 2000. / An integrated MEMS three-dimensional tactile sensor with large force range 80 : 155 ~ 162 google schola / 2000. / New tactile sensor chip with silicone rubber cover 84 : 236 ~ 245 google schola

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