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자료유형
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저자정보
저널정보
한국센서학회 센서학회지 센서학회지 제15권 제4호
발행연도
2006.1
수록면
269 - 276 (8page)

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This paper represents development of quartz crystal microbalance (QCM) and usage as a dew point sensor. The temperature of a quartz resonator was controlled precisely from 20oC to 30oC with the ramping rate of 0.1oC/s by using a custom-made crystal holder housing the quartz resonator associated with a thermoelectric cooler (Peltier cooler), which results in the working range from 15.2oC to 24.0oC based on an accurate holder temperature compensation and temperature effect compensation process. The developed QCM dew point sensor and analysis techniques show very good sensing characteristics at measurement of moist air with the relative humidity from 10%R.H. to 90%R.H. generated by a divided-type humidity generator and the dew point temperatures were determined with an accuracy of less than 0.18oC, which also showed good agreement with reference values in their error range.
#QCM sensor #dew point sensor

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?C. Lu / 1984. / Applications of piezoelectric quartz crystal microbalances : 24 ~ google schola A. Rahtu / 2002. / Compensation of temperature effects in quartz crystal microbalance measurements 80 : 521 ~ 523 google schola F. P. Delannoy / 2000. / Quartz crystal microbalance used as humidity sensor : 285 ~ 291 google schola K. A. Vetelino / 1996. / Improved dew point measurements based on a SAW sensor 35 : 91 ~ 98 google schola L. Niinisto / 1996. / Synthesis of oxide thin films and overlayers by atomic layer epitaxy for advanced applications 41 : 23 ~ 29 google schola

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