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한국센서학회 센서학회지 센서학회지 제11권 제6호
발행연도
2002.1
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본 논문에서는 백금박막 온도센서의 0℃, 100Ω 세팅을 위해 355nm 파장을 갖는 자외선 레이져를 이용하였다. 국제적으로 온도센서의 A-class 기준오차는 0℃에서 ±0.06Ω이다. 실제적으로 이 값은 0.15℃이하에 해당하는 오차로 저항체 제작시 고정밀 가공 기술을 필요로 한다. 가공에 이용된 355nm DYP(Diode-Pumped YAG) 레이져는 power : 37mW, rep. rate 주파수 : 200Hz 그리고 bite size : 7.5㎛에서 1∼1.5㎛ 두께의 백금박막을 가장 안전하게 가공할 수 있었으며 가공선폭은 10㎛ 안팎임을 확인하였다. 그리고 사진식각 공정기술을 이용하여 제작된 2〃×2〃기판내의 96개(4 by 24) 저항체는 상온 25℃에서 79∼90Ω : 42.7%, 91∼102Ω : 57.3%의 비율로 각각 제작되어졌다. 109.73Ω를 목표값으로 25℃에서 자외선 레이져를 이용하여 가공한 결과, 82.3%가 가공오차가 ±0.03Ω이하에 들어왔으며 나머지 17.7%도 국제규격 A-Class내인 ±0.06Ω내에 포함되었다.

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