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자료유형
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저자정보
저널정보
한국센서학회 센서학회지 센서학회지 제17권 제1호
발행연도
2008.1
수록면
9 - 14 (6page)

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In this paper, the gas responses of tungsten oxide films prepared by anodic reaction was discussed. Sensing electrodesand heating electrodes were patterned by photolithography method on quartz substrate. Porous tungsten oxide wasfabricated in electrolyte solutions of 5 % HF (HF:C₂H6OH:H₂O=3:2:20) by anodic reaction. The anodic reaction withmetal (platinum wire) as a cathode and the sensing device as an anode was conducted under the various reaction times(1-10 min) at 10 mA/cm² The surface structure and morphology of the fabricated sensor have been analysed by X-raydifraction (XRD) and field-emision scanning electron microscopy (FE-SEM). Al the peaks of XRD results were wellindexed to the pure phase patern. The average diameter of the porous tungsten oxide surface were ranged about 10 nm.The fabricaed sensor showed good sensitivity to 20 ppm toluene at operating temperature of 250oC.
#WO₃ #anodic reaction #VOC

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