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The PZT based piezoelectric thick films prepared by screen printing method have been mainly used as a functional
material for MEMS applications due to their compatibility of MEMS process. However the screen printed thick films
generally reveal poor electrical and mechanical properties because of their porous microstructure. To improve
microstructure we mixed attrition milled powder with ball milled powder of 0.01Pb(Mg1/2W1/2)O3-0.41Pb(Ni1/3Nb2/3)O3-
0.35PbTiO3-0.23PbZrO3+0.1 wt% Y2O3+ 1.5 wt% ZnO composition. By mixing 25 % of attrition milled powder and 75 %
of ball milled powder, the broadest particle size distribution was obtained, leading to a dense thick film with crack-free
microstructure and improved dielectric properties. The X-ray diffraction analysis revealed that the film was in wellcrystallized
perovskite phase. The remanent polarization was increased from 13.7 μC/cm2 to 23.3 μC/cm2 at the addition
of 25 % attrition milled powder.
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A. Schroth / 1998 / Application of gas jet deposition method to piezoelectric thick film miniature actuator / J. Appl. Phys 37 : 5342 ~ 5344
B. Morten / 1992 / Resonant pressure sensor based on piezo-electric properties / Sensor and Actuators A 31 : 153 ~ 158
D. A. Barrow / 1995 / Thick ceramic coatings using a sol gel based ceramic 0-3 composite / Surface and Coatings Technology 76-77 : 113 ~ 118
D. A. Rarrow / 1997 / Characterization of thick PZT films fabricated using a new sol based process / J. Appl Phys 81 : 876 ~ 881
David C. C. Lam / 1994 / Effect of paricle size distribution shape on composite packing density of bimodal mixture / J. Ceram. Soc. Jpn 102 (2) : 133 ~ 138
B. Morten / 1992 / Resonant pressure sensor based on piezo-electric properties / Sensor and Actuators A 31 : 153 ~ 158
D. A. Barrow / 1995 / Thick ceramic coatings using a sol gel based ceramic 0-3 composite / Surface and Coatings Technology 76-77 : 113 ~ 118
D. A. Rarrow / 1997 / Characterization of thick PZT films fabricated using a new sol based process / J. Appl Phys 81 : 876 ~ 881
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