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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국센서학회 센서학회지 센서학회지 제15권 제3호
발행연도
2006.1
수록면
199 - 204 (6page)

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Carbon nanotube (CNT) mats grown by thermal chemical vapor deposition on a micromachined substrate with a chrome heater and a diaphragm were investigated as sensing materials of resistive gas sensors for nitrogen dioxide (NO2) gas. The aligned CNT mats fabricated into mesh and serpentine shapes by the patterned cobalt catalyst layer. CNT mats showed a p-type electrical resistivity with decreasing electrical resistance upon exposure to NO2. All sensors exhibited a reversible response at a thermal treatment temperature of 130oC for about 5 minutes. The resistance change to NO2 of the mesh-shaped CNT mats was larger than that of the serpentine-shaped CNT mats.
#carbon nanotube mat #nirogen dioxide #NO2) #resistive gas sensor #thermal chemical vapor deposition #CVD)

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C. J. Lee / 1999. / Synthesis of aligned carbon nanotubes using thermal chemical vapor deposition 312 : 461 ~ 468 google schola I. Simon / 2001. / Micromachined metal oxide gas sensors 73 : 1 ~ 26 google schola J. Kong / 2000. / Nanotube molecular wires as chemical sensors 287 : 622 ~ 625 google schola K. G. Ong / 2002 / A wireless passive carbon nanotube based gas sensor 2 : 82 ~ 88 google schola K. Kaneto / 1999 / Electrical conductivities of multi-wall carbon nanotubes 103 : 2543 ~ 2546 google schola

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