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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국정보처리학회 JIPS(Journal of Information Processing Systems) JIPS(Journal of Information Processing Systems) 제10권 제3호
발행연도
2014.1
수록면
429 - 442 (14page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2014

Fault Detection in the Semiconductor Etch Process Using the Seasonal Autoregressive Integrated Moving Average Modeling
Muhammad Zeeshan A ,  shad ,  홍상진 외 2명 JIPS(Journal of Information Processing Systems) 2014.01 학술저널

2013

Fault Detection and Classification in Semiconductor Etch Process using Time Series Modeling and Dempster-Shafer Theory
Muhammad Zeeshan A ,  shad 전자공 2013.01 학위논문

2012

Process Fault Probability Generation via ARIMA Time Series Modeling of Etch Tool Data
Muhammad Zeeshan A ,  shad ,  Jave 외 5명 한국진공학회 학술발표회초록집 2012.02 학술대회자료

초록· 키워드

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In this paper, we investigated the use of seasonal autoregressive integratedmoving average (SARIMA) time series models for fault detection in semiconductor etchequipment data. The derivative dynamic time warping algorithm was employed for thesynchronization of data. The models were generated using a set of data from healthyruns, and the established models were compared with the experimental runs to find thefaulty runs. It has been shown that the SARIMA modeling for this data can detect faultsin the etch tool data from the semiconductor industry with an accuracy of 80% and 90%using the parameter-wise error computation and the step-wise error computation,respectively. We found that SARIMA is useful to detect incipient faults in semiconductorfabrication.
#Autoregressive Integrated Moving Average #Dynamic Time Warping #Fault Detection #Seasonal Autoregressive Integrated Moving Average #Semiconductor Process #Time Series Modeling

목차

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참고문헌 (15)

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A. Kassidas / 1998 / Synchronization of batch trajectories using dynamic time warping / AIChE Journal 44 (4) : 864 ~ 875 google schola B. E. Goodlin / 2003 / Simultaneous fault detection and classification for semiconductor manufacturing tools / Journal of the Electrochemical Society 150 (12) : G778 ~ G784 google schola B. M. Wise / 1999 / A comparison of principal component analysis, multiway principal component analysis, trilinear decomposition and parallel factor analysis for fault detect google schola C. J. Spanos / 1992 / Real-time statistical process control using tool data [semiconductor manufacturing] / IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing 5 (4) : 308 ~ 318 google schola D. C. Montgomery / 2008 / Introduction to Time Series Analysis and Forecasting / Wiley : 231 ~ 285 google schola

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