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저널정보
한국기계기술학회 한국기계기술학회지 한국기계기술학회지 제15권 제2호
발행연도
2013.1
수록면
285 - 290 (6page)

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Magnetostrictive thin films can be applied in transmission system for the enhancement of energy efficiency. In this study, four kinds of substrates (Si, glass, Fe, polyimide) with the magnetostrictive thin film layers are prepared and investigated to characterize the magnetic and mechanical behaviors due to the substrates effects. The fabricated substrates have thicknesses of 50, 150 and 500um with cantilever shape. TbDyFe films are deposited by DC magnetron sputtering with 1～10m thick. The deposited film thicknesses are verified using X-ray diffraction. The magnetization of each sample is examined using VSM(Vibrating Sample Magnetometer) and magnetostriction is also measured using capacitance method to characterize magneto-mechanical behaviors. The magnetostriction results as deflections are compared and the results are discussed for micro actuator applications.
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참고문헌 (9)

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Body, C. / 1997 / Application of Magnetostrictive Thin Films for Microdevices / IEEE Transactions on Magnetics 33 (2) : 2163 ~ 2166 google schola E. Ghassemieh / 2011 / Materials in Automotive Application, State of the Art and Prospects / New Trends and Developments in Automotive Industry, InTech, Inc. : 365 ~ 394 google schola H. Janocha / 1999 / Adaptronics and Smart Structures : Basics, Materials, Design, and Applications / Springer- Verlag google schola H. Janocha / 2001 / Application Potential of Magnetic Field Driven New Actuators / Sensors and Actuators A : Physical 91 : 126 ~ 132 google schola M. R. J. Gibbs / 2004 / Magnetic Materials for MEMS Applications / Jounal of Physics D : Applied Physics 37 : 237 ~ 244 google schola

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