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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2008.1
- 수록면
- 146 - 153 (8page)
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본 연구에서는 0.8 μm 아날로그 혼합 CMOS 기술에 의한 2단 연산 증폭기를 가진 집적화된 습도센서 시스템을 설계 및 제작하였다. 시스템은 28핀 및 2㎜×4㎜의 크기를 가졌으며, 휘스톤 브릿지형 습도센서, 저항형 습도센서, 온도센서 및 신호의 증폭과 처리를 위한 연산증폭기를 단일 칩에 구성하였다. 기존의 CMOS 공정에 트렌치형의 감지 영역을 형성하기 위해 폴리-질화 에치 스탑 공정을 시도하였다. 이러한 수정된 기술은 CMOS 소자의 특성에 영향을 주지 않았고, 표준 공정으로 동일 칩 상에 센서와 시스템을 제작할 수 있도록 하였다. 연산증폭기는 이득 폭이 5.46 MHz 이상, 슬루율이 10 V/uS 이상으로 센서를 동작하기에 안정된 특성을 보였다. N형 습도감지 전계효과 트랜지스터의 드레인 전류는 상대습도가 10%에서 70%로 변화할 때 0.54mA에서 0.68 mA로 변화하였다.
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B. G. Streetman / 2006 / Solid state electronics / Pearson : 282 ~ 285
C. L. Dai / 2007 / A nanowire WO3 humidity sensor integrated with micro-heater and inverting amplifier circuit on chip manufactured using CMOS-MEMS technique / Sensors and Ac
E. Traversa / 1995 / Ceramic sensors for humidity detection: the state-of-the-art and future developments / Sensors and Actuators B 23 : 135 ~ 152
J. G. Lee / 2005 / Humidity sensing properties of CNx film by RF magnetron sputtering system / Sensors and Actuators B 108 : 450 ~ 454
L. Bousse / 1988 / A process for the combined fabrication of ion sensors and CMOS circuits / IEEE ED. Letters 9 (1) : 44 ~ 47
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E. Traversa / 1995 / Ceramic sensors for humidity detection: the state-of-the-art and future developments / Sensors and Actuators B 23 : 135 ~ 152
J. G. Lee / 2005 / Humidity sensing properties of CNx film by RF magnetron sputtering system / Sensors and Actuators B 108 : 450 ~ 454
L. Bousse / 1988 / A process for the combined fabrication of ion sensors and CMOS circuits / IEEE ED. Letters 9 (1) : 44 ~ 47
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