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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2015.1
- 수록면
- 73 - 77 (5page)
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본 논문에서는 저가로 쉽게 제작할 수 있는 구조를 지닌 단일칩 형태의 고분자 기반 평판형 분광모듈을 제안하였다. 제안된 분광모듈은 UV 임프린트 기법에 의해 제작되어진 비등간격 나노회절격자와 오목거울이 포함된 평판형광도파로로 구성되어진다. 회절효율을 향상시키기 위해 나노회절격자의 구조는 25°의 블레이징 각도와 100㎚의 선폭을가지도록 설계, 제작되었다. 평판형 분광모듈은 700 nm 대역폭과 10 nm 분해능을 가짐을 확인하였다. 이러한 집적형 고분자 분광모듈은 다양한 센서 시스템에 적용될 수 있을 것으로 기대된다.
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A. Nitkowski / 2014 / On-chip spectrometer for low-cost optical coherence tomography / SPIE 8934 : 89340F ~
J. Hoja / 2008 / An analysis of a measurement probe for a high impedance spectrscopy analyzer / Journal of the International Measurement Confederation 41 (1) : 65 ~
K. Wu / 2014 / Sensitive detection of CO2 concentration and temperature for hot gases using quantum-cascade laser absorption spectroscopy / Applied Physics B 117 (2) : 659 ~
S. Babin / 2009 / Fabrication of novel digital optical spectrometer on chip / J. Vac. Sci. Technol. B 27 (6) : 3187 ~
S. C. Truxal / 2008 / Design of a MEMS Tunable Polymer Grating for Single Detector Spectroscopy / Journal of Optomechatronics 2 (2) : 75 ~
J. Hoja / 2008 / An analysis of a measurement probe for a high impedance spectrscopy analyzer / Journal of the International Measurement Confederation 41 (1) : 65 ~
K. Wu / 2014 / Sensitive detection of CO2 concentration and temperature for hot gases using quantum-cascade laser absorption spectroscopy / Applied Physics B 117 (2) : 659 ~
S. Babin / 2009 / Fabrication of novel digital optical spectrometer on chip / J. Vac. Sci. Technol. B 27 (6) : 3187 ~
S. C. Truxal / 2008 / Design of a MEMS Tunable Polymer Grating for Single Detector Spectroscopy / Journal of Optomechatronics 2 (2) : 75 ~
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