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논문 기본 정보

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학술저널
저자정보
저널정보
한국마이크로전자및패키징학회 마이크로전자 및 패키징학회지 마이크로전자 및 패키징학회지 제22권 제1호
발행연도
2015.1
수록면
21 - 25 (5page)

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유연 기판에 증착된 구리 박막과 구리 배선의 기계적 피로 현상에 대해 조사하고, 몰리브덴-티타늄 합금 접착층을 이용해 피로 신뢰성을 향상시키는 연구를 진행하였다. 구리 배선의 경우 구리 박막에 비해 인장 굽힘 피로수명이 약3배, 압축 굽힘 피로수명은 약 6배 가량 감소하는 것으로 측정되었으며, 기계적 균열 생성에 의한 파괴가 더욱 치명적으로 작용할 수 있다. 몰리브덴-티타늄 접착층이 있을 경우, 구리 배선의 피로수명이 인장과 압축 굽힘 조건 모두 향상되는결과를 나타냈으며, 이는 접착층에 의한 계면 접착력 상승 효과와 더불어 구리층의 미끄럼 현상을 억제했기 때문으로 추측된다.
#Flexible interconnects #Fatigue #Reliability #Bending endurance

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참고문헌 (21)

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A. K. Pandey / 2006 / Efficient Flexible and Thermally Stable Pentacene/C60 Small Molecule Based Organic Solar Cells / Appl. Phys. Lett 89 (21) : 213506 ~ google schola B.-J. Kim / 2012 / Fatiguefree, Electrically Reliable Copper Electrode with Nanohole Array / Small 8 (14) : 3300 ~ google schola B.-J. Kim / 2013 / Crack Nucleation during Mechanical Fatigue in Thin Metal Films on Flexible Substrates / Acta Mater 61 (9) : 3473 ~ google schola D.-H. Kim / 2011 / Epidermal Electronics / Science 333 (6044) : 838 ~ google schola F. S. Ohuchi / 1986 / Metal Polyimide Interface: A Titanium Reaction Mechanism / J. Vac. Sci. Tech. A 4 (3) : 1039 ~ google schola

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