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논문 기본 정보

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저널정보
한국마이크로전자및패키징학회 마이크로전자 및 패키징학회지 마이크로전자 및 패키징학회지 제20권 제2호
발행연도
2013.1
수록면
47 - 51 (5page)

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본 연구에서는 웨이퍼 레벨 Cu 본딩을 이용한 3D 적층 IC의 개발을 위해 2단계 기계적 화학적 연마법(CMP)을 제안하고 그 결과를 고찰하였다. 다마신(damascene) 공정을 이용한 Cu/SiO2 복합 계면에서의 Cu dishing을 최소화하기 위해 Cu CMP 후 SiO2 CMP를 추가로 시행하였으며, 이를 통해 Cu dishing을 100~200Å까지 낮출 수 있었다. Cu 범프의 표면거칠기도 동시에 개선되었음을 AFM 관찰을 통해 확인하였다. 2단 CMP를 적용하여 진행한 웨이퍼 레벨 Cu 본딩에서는 dishing이나 접합 계면이 관찰되지 않아 2단 CMP 공정이 성공적으로 적용되었음을 확인할 수 있었다.
#Cu CMP #wafer level bonding #Cu bonding #dishing

목차

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