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논문 기본 정보

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저널정보
한국분말야금학회 한국분말야금학회지 한국분말야금학회지 제16권 제1호
발행연도
2009.1
수록면
37 - 42 (6page)

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In this study, the feasible test for the mechanical property characterization of BaTiO3 ceramics and multi-layer ceramic capacitor (MLCC) was performed with nanoindentation technique. In case of BaTiO3 ceramics, hardness and elastic modulus are dependent on the densification of specimen showing the highest hardness and elastic modulus values of 12.3 GPa and 155 GPa, respectively at 1260℃. In case of MLCC chip, hardness of dielectric layer was lower than that of margin region. The nanoindentation method could be useful tool for the measurement of mechanical property within BaTiO3 dielectric layer of very thin thickness in high capacitance MLCC.
#BaTiO3 #Hardness #Nanoindentation #Mechanical property #MLCC

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C. X. Wang / 2004 / / Mater. Char. 52 : 301 ~ google schola G. M. Pharr / 1992 / / MRS Bull. 17 : 28 ~ google schola G. M. Pharr / 1998 / / Mater. Sci. & Eng. A 253 : 151 ~ google schola J. S. Park / 2006 / / Microelectronic Engineering 83 : 2558 ~ google schola M. F. Doerner / 1986 / / J. Mater. Res. 1 : 601 ~ google schola

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