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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2011.1
- 수록면
- 193 - 198 (6page)
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최근 사파이어 결정은 LED 응용부품에 사용되고 있고, CZ 성장공정은 고 품질의 사파이어 단결정을 성장시키기 위한 중요한 기술중의 하나이다. 고 품질의 단결정을 성장하기 위해서는 CZ 성장로 내부의 열 및 질량 전달현상의 제어가 필요하다. 본 연구에서는 유도 가열된 CZ 성장로에 대한 사파이어 결정의 성장공정을 FEM을 사용하여 수치적으로분석하였다. 본 연구의 결과, 성장로의 rpm이 증가함에 따라 고온부는 도가니 표면에서 융액의 내부로 이동하고, 고-액 계면은 평편한 형태로 변화되는 것으로 분석되었다. 또한 성장된 결정의 고-액 계면은 초기에 형성된 결정의 shoulder 형상에의해서도 영향을 받는 것으로 나타났다.
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참고문헌 (4)
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C. Lu / 2010 / Effects of RF coil position on transport processes during the stages of sapphire Czochralski crystal growth / J. Crystal Growth 312 : 1074 ~
M. Tavakoli / 2008 / Numerical study of heat transport and fluid flow during different stages of sapphire Czochralski crystal growth / J. Crystal Growth 310 : 3107 ~
R. Feigelson / 2004 / 50 years of progress in crystal growth / J. Crystal Growth 264 : 11 ~
S. Demina / 2008 / Use of numerical simulation for growing high quality sapphire crystals by the Kyropoulos method / J. Crystal Growth 310 : 1443 ~
M. Tavakoli / 2008 / Numerical study of heat transport and fluid flow during different stages of sapphire Czochralski crystal growth / J. Crystal Growth 310 : 3107 ~
R. Feigelson / 2004 / 50 years of progress in crystal growth / J. Crystal Growth 264 : 11 ~
S. Demina / 2008 / Use of numerical simulation for growing high quality sapphire crystals by the Kyropoulos method / J. Crystal Growth 310 : 1443 ~
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