우수한 대전방지 및 기계적 성질을 가지는 다공성 산화티탄-산화망간 세라믹스 제조

유동수; 황광택; 김종영; 정종열; 백승우; 심우영

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자료유형: 학술저널

저자정보: 유동수 황광택 김종영 정종열 백승우 심우영

저널정보: 한국결정성장학회 한국결정성장학회지 한국결정성장학회지 제28권 제6호

발행연도: 2018.1

수록면: 263 - 270 (8page)

이용수

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최근 반도체, 디스플레이 제조장비용 세라믹소재로 대전방지 기능을 가지는 다공성 세라믹스가 시급히 요구되고 있다. 본 연구에서는 다공성 산화티탄-산화망간 기지상에 산화티탄 나노분말을 첨가하여 부분소결함으로써 10 8 -10 10 ohm 의 표면저항을 가지고 향상된 기계적 강도를 가지는 다공성 세라믹스를 제조하였다. 나노 크기의 산화티탄 분말을 첨가함으로써 입자 사이의 목 형성을 강화하였고, 그 결과 꺽임강도를 170 MPa(@기공률 15 %), 110 MPa(@기공률 31 %) 수준으로 증가시킬 수 있었다. 이는 P-25를 첨가하지 않았을 때의 꺽임강도(80 MPa @ 기공률 26 %)에 비하여 주목할만큼 증가한값으로 단순한 기공률 감소가 아닌 목 형성등 미세구조 변화에 따른 것으로 판단된다. 개발 세라믹스를 적용한 OLED 유연소자 제조공정용 공기부상용 모듈을 제작하여 진공척의 성능을 평가하였다.

참고문헌 (28)

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J. Adler / 2005 / Ceramic diesel particulate filters / Int. J. Appl. Ceram. Technol 2:429

A. Shyam / 2008 / Mechanical characterization of diesel particulate filters / J. Am. Ceram. Soc 91:1995

A. J. Pyzik / 2005 / New design of a ceramic filter for diesel emission control applications / Int. J. Appl. Ceram. Technol 2:440

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