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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2013.1
- 수록면
- 129 - 134 (6page)
이용수
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사파이어(Al2O3) 단결정 웨이퍼는 청색 LED(light emitting diode) 제작을 위한 핵심 소재로 사용되고 있으며, 사파이어 단결정의 품질에 따라 LED의 성능이 크게 좌우하게 된다. 여러 가지 사파이어 단결정 제조방법 중 키로플러스(Kyropoulos)법은 도가니 직경에 근접한 크기로 잉곳 생산이 가능하며, 내부 전위밀도가 낮아 고품질의 대구경 사파이어 잉곳 제작이 가능하다. 키로플러스법 공정에서 용융 알루미나의 유동은 seed의 성장 형태, 도가니 및 단열재의 형상에 영향을받으며, 유동양상에 따라 단결정 사파이어 잉곳의 품질이 좌우된다. 특히 온도구배는 hot-zone 내부의 히터 구조와 밀접한관련이 있으므로 본 연구에서는 도가니 단위표면적당 하부와 측면 히터의 발열비율에 따른 CFD(computational fluid dynamics) 해석을 실시하고, 해석결과를 토대로 각각 용융 알루미나의 유동 및 remelting 현상에 대해 분석하였으며, 이상적인 히터 발열비율을 도출하였다.
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참고문헌 (11)
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D.P. Lukanin / 2004 / Advances in the simulation of heat transfer and prediction of the melt-crystal interface shape in silicon CZ growth / Journal of Crystal Growth 266 : 20
Korea Association for Photonics Industry Development / 2005 / Trends of LED technology developments and patents / Photonics Industry News 27 : 36 ~
Osman Turan / 2012 / Laminar Rayleigh-Benard convection of yield stress fluids in a square enclosure / Journal of Non-Newtonian Fluid Mechanics 171 : 83 ~
S.E. Demina / 2007 / Numerical analysis of sapphire crystal growth by the kyropoulos technique / Optical Materials 30 : 62 ~
S.E. Demina / 2008 / Use of numerical simulation for growing highquality sapphire crystals by the kyropoulos method / Journal of Crystal Growth 310 : 1443 ~
Korea Association for Photonics Industry Development / 2005 / Trends of LED technology developments and patents / Photonics Industry News 27 : 36 ~
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S.E. Demina / 2007 / Numerical analysis of sapphire crystal growth by the kyropoulos technique / Optical Materials 30 : 62 ~
S.E. Demina / 2008 / Use of numerical simulation for growing highquality sapphire crystals by the kyropoulos method / Journal of Crystal Growth 310 : 1443 ~
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