지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2012.1
- 수록면
- 190 - 193 (4page)
이용수
초록· 키워드
오류제보하기
RF-PECVD(radio frequency plasma enhanced chemical vapor deposition)법을 이용하여 CH4+ SiH4+ Ar 혼합 가스로부터 유리 기판 위에 투명 다이아몬드상 카본(diamond-like carbon, DLC)을 합성하였다. 공정압력과 rf-파워, CH4/SiH4/Ar 혼합비, 그리고 증착 시간은 각각 0.1 torr, 100W, 20 : 1 : 1, 20분이었다. DLC가 증착된 유리와 증착되지 않은 유리의 투과도를 가시광선 영역에서 비교하였고, DLC가 증착된 유리의 경도, 표면 조도와 두께를 nanoindenter와 AFM으로 측정하였다.
DLC가 증착된 유리의 투과도는 증착되지 않은 유리와 비교할 때 380 nm 파장에서 약 83 %, 500 nm 이상의 파장에서는95 % 이상 수준이었다. DLC가 증착된 유리의 경도는 증착되지 않은 유리의 약 2.5배이었다. 증착된 DLC 박막은 매우 고른 표면을 보였으며 20분 증착 후 두께는 150 nm 이상으로 나타났다.
목차
등록된 정보가 없습니다.
참고문헌 (11)
참고문헌 신청
A. Grill / 1999 / Electrical and optical properties of diamondlike carbon / Thin Solid Films 355 : 189 ~
A.C. Ferrari / 2000 / Interpretation of Raman spectra of disordered and amorphous carbon / Phys. Rev. B 61 : 14095 ~
J. Robertson / 1996 / Recombination and photoluminescence mechanism in hydrogenated amorphous carbon / Phys. Rev. B 53 : 16302 ~
J. Robertson / 2002 / Diamond-like amorphous carbon / Mater. Sci. Eng. R 37 : 129 ~
M. Hwang / 2000 / Effect of oxygen and nitrogen addition on the optical properties of diamond-like carbon films / Mater. Sci. Eng. B 75 : 24 ~
A.C. Ferrari / 2000 / Interpretation of Raman spectra of disordered and amorphous carbon / Phys. Rev. B 61 : 14095 ~
J. Robertson / 1996 / Recombination and photoluminescence mechanism in hydrogenated amorphous carbon / Phys. Rev. B 53 : 16302 ~
J. Robertson / 2002 / Diamond-like amorphous carbon / Mater. Sci. Eng. R 37 : 129 ~
M. Hwang / 2000 / Effect of oxygen and nitrogen addition on the optical properties of diamond-like carbon films / Mater. Sci. Eng. B 75 : 24 ~
이 논문의 저자 정보
최근 본 자료
댓글(0)
0