유도결합 열 플라즈마를 이용한 고순도 질화알루미늄 나노 분말 합성

김경인; 최성철; 한규성; 황광택; 김진호

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자료유형: 학술저널

저자정보: 김경인 최성철 한규성 황광택 김진호

저널정보: 한국결정성장학회 한국결정성장학회지 한국결정성장학회지 제24권 제1호

발행연도: 2014.1

수록면: 1 - 7 (7page)

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연구결과

이 논문의 연구 히스토리 (3)

2014

RF 열 플라즈마를 이용한 알루미늄 분말로부터 고순도 질화알루미늄 나노 분말의 합성

김경인 신소재공 2014.01 학위논문

유도결합 열 플라즈마를 이용한 고순도 질화알루미늄 나노 분말 합성

김경인 , 최성철 , 한규성 외 2명 한국결정성장학회지 2014.01 학술저널

2013

유도 열플라즈마 공정을 이용한 고순도 카본분말 합성

김경인 , 한규성 , 황광택 외 1명 한국결정성장학회지 2013.01 학술저널

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질화알루미늄(AlN)은 뛰어난 열적, 전기절연성 특성을 갖고 있어 반도체 기판용 재료나 전자 패키징 재료로 주목받고 있다. 질화알루미늄은 소결온도가 높고 불순물로 인한 물성저하 때문에 고순도화 및 나노원료화가 필수적이다. 본연구에서는 RF 유도결합 열플라즈마를 이용하여 알루미늄 분말로부터 고순도의 질화알루미늄 나노분말을 합성하였다. Sheath gas로 사용된 암모니아의 유량 제어를 통해 고순도의 질화알루미늄 나노분말이 합성되는 조건을 확립하고자 하였으며 합성된 분말은 XRD, SEM, TEM, BET, FTIR, N-O분석을 통해 특성분석을 진행하였다.

#Aluminum nitride #RF induction thermal plasma #Nanopowder #Ammonia gas flow

참고문헌 (27)

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