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저자정보
저널정보
한국환경분석학회 환경분석과 독성보건 한국환경분석학회지 제15권 제4호
발행연도
2012.1
수록면
256 - 260 (5page)

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As the solar energy industry, IT industry and semiconductor industry have consistently and remarkably developed, the demand for single crystal silicon wafter increases rapidly. Thus, more than 25,500 ton/year (as of 2012) of silicon sludges are generated from the manufacturing processes. Although DEG is recovered from some of them, most of them are commissioned for treatment or used for landfill, which leads to the waste of resources. Therefore, it was intended to develop the technology to recover the cutting oil DEG as well as the cutting agent, ceramic component for reuse. In particular, this project was aimed to develop a dry process technology to prevent the secondary waste unlike previous studies. A pilot study was conducted to recover DEG from the silicon sludge using the laboratory vacuum evaporator in order to develop the technology to recover DEG from the silicone sludge generated in Jeonbuk Industrial Complex. Based on the study results, a pilot plant was installed and operated to obtain the engineering data. As for the goal of R&D efforts in this project,the quantitative value from the perspective of process exceeded the target value. However, the purity level of DEG was 96.1% at maximum, which was slightly below the target value. This result may be attributed to the absorption of 3%~4% of moisture to the silicone sludge used for test during the summer season.
#Cutting oil #Cutting agent #Diethyleneglycol #DEG) #Solar energy industry #Silicone sludge

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