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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2011.1
- 수록면
- 417 - 430 (14page)
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차세대 반도체 생산을 위한 450mm 웨이퍼 제조공정의 가장 큰 특징은 모든 제조공정이 완전자동화로 이루어진다는 것이다. 이러한 완전자동화로 인해 작업자의 공정개입이 불가능하게 되고 개별 웨이퍼의 중요도가 증가하므로 완전자동화를 지원할 수 있는 보다 우수한 스케줄링 방법과 시스템이 요구된다. 즉, 450mm 웨이퍼 생산을 위한 스케줄링 시스템은 개별 웨이퍼와 클러스터 장비의 공정 상태를 실시간으로 반영하여 생산성을 향상시킬 수 있는 견고한 스케줄링 기법을 적용해야 한다. 본 연구에서는 450mm 웨이퍼 생산환경에서 중요하게 사용되는 클러스터 장비와 그 특성들을 소개하고 timetabling 방법에 기반을 둔 효과적인 실시간 스케줄링 기법을 제시하고자 한다. 특히 웨이퍼가 공정완료 이후 chamber에서 일정한 시간동안 대기할 수 있는 웨이퍼 이동지연을 고려하여 FOUP 단위의 사이클 타임(cycle time)과 개별 웨이퍼의 공정 시작시간을 결정할 수 있는 방법을 제시한다.
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참고문헌 (15)
참고문헌 신청
Crama, Y / 1997 / Robotic Flowshop Scheduling is Strongly NPcomplete, in CWI Tract 122 / The Netherlands : 277 ~ 286
Dawande, M. / 2005 / Sequencing and Scheduling in Robotic Cells: Recent Developments / Journal of Scheduling 8 (5) : 387 ~ 426
Draina, J. / 2006 / ISMI 300 Prime/450mm Industry Briefing / SEMICON Japan 2006
Dummler, M. / 2004 / Modeling and Optimization of Cluster Tools in Semiconductor Manufacturing / 박사 / University of Wuerzburg
Framinan, J. M. / 2006 / An Enhanced Timetabling Procedure for the Nowait Job Shop Problem: a Complete Local Search Approach / Computers & Operations Research 33 (5) : 12
Dawande, M. / 2005 / Sequencing and Scheduling in Robotic Cells: Recent Developments / Journal of Scheduling 8 (5) : 387 ~ 426
Draina, J. / 2006 / ISMI 300 Prime/450mm Industry Briefing / SEMICON Japan 2006
Dummler, M. / 2004 / Modeling and Optimization of Cluster Tools in Semiconductor Manufacturing / 박사 / University of Wuerzburg
Framinan, J. M. / 2006 / An Enhanced Timetabling Procedure for the Nowait Job Shop Problem: a Complete Local Search Approach / Computers & Operations Research 33 (5) : 12
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