Effects of Annealing Time on Electrical Properties of Solution-Based (HfZrO₄)<SUB>0.7</SUB>(SiO₂)<SUB>0.3</SUB> Gate Dielectrics

Nara Lee; Byoungdeog Choi

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: Nara Lee (Sungkyunkwan University) Byoungdeog Choi (Sungkyunkwan University)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 2019년 한국진공학회 (제57회 하계정기학술대회 초록집)

발행연도: 2019.8

수록면: 178 - 178 (1page)

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Nara Lee

소속기관 성균관대학교

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Byoung-deog Choi

소속기관 성균관대학교

주요연구분야 자연과학 > 물리학 TOP 5% 공학 > 전기전자공학 > 전자공학

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