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위상절연체의 안정성과 에너지소비 상관관계
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
축전 결합형 C₄F₈/Ar 플라즈마 내에서 웨이퍼 두께에 따른 쉬스 렌즈 효과 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2021 .02
C4F8/Ar 플라즈마를 이용한 SiO2 원자층 식각에서 활성종 구성 비율에 따른 식각 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
삼불화질소의 플라즈마 반응성 이온 식각 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2021 .02
ICP 식각 공정에서의 컨택홀의 기울어진 식각 프로파일
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
저손상 식각 기술을 이용한 초미세 패턴의 식각 프로파일 향상에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
C4F8/Ar 플라즈마를 이용한 SiO2 원자층 식각의 SiO2 두께 변화 해석 모델
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
반응성 이온 식각 공정을 활용한 다결정 실리콘 태양전지의 표면 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
유도결합 플라즈마 식각 장치에서 소스 및 바이어스 전력에 따른 식각 속도 분포 변화
한국진공학회 학술발표회초록집
2021 .02
식각된 LED의 식각 깊이와 식각 각도가 광 추출 효율에 미치는 영향
새물리
2020 .10
Plasma 시스템을 이용한 MoS2 나노박막의 합성 및 식각
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
플라즈마 식각 공정 챔버내의 부품 식각률 감소를 위한 전처리 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
이온 밀링을 활용한 시료의 다양한 분석
한국분석과학회 학술대회
2022 .11
펄스 플라즈마 식각을 통한 실리콘 나노구조의 식각 특성 향상
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
GDP갭의 물가영향력 변화 분석
한국데이터정보과학회지
2015 .12
C4F8 가스를 이용한 식각 공정 플라즈마에서 첨가 가스(Ar, Kr)에 따른 플라즈마 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
유체 시뮬레이션을 이용한 미세 식각 구조물 하부 공정 부산물의 배기 특성에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
발광 분광 분석법 및 잔류가스 분석기를 이용한 NF₃ 플라즈마 반응성 이온 식각 장치의 실리콘 식각 진단 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
Multi-crystalline Silicon Solar Cell with Reactive Ion Etching Texturization
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
유도결합형 산소 플라즈마를 이용한 다공성 폴리머 필름의 식각 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
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