Synthesis and Photolithographic Characterization of Novel Phenolic Molecular Resist with High Glass Transition Temperature

문정석; 오현택; 이진균

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 문정석 (인하대학교) 오현택 (인하대학교) 이진균 (인하대학교)

저널정보: 한국고분자학회 한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집 한국고분자학회 2019년도 춘계학술대회 연구논문 초록집 제44권 제1호

발행연도: 2019.4

수록면: 119 - 119 (1page)

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