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The impurity measurement, diagnosis, and analysis technology including hydrogen is an absolute prerequisite for developing materials such as metal materials, increasing the yield of semiconductors and display processes, and improving the reliability of products. Globally, outgassing measuring equipment and technology have made many progress mainly on the throughput method. However, there must be many errors in the hydrogen measurement and analysis because of the restriction of hydrogen effective pumping speed and re-adsorption on samples with the throughput method. In the case of global hydrogen measurement and diagnostic equipment, technology development is under way in which hydrogen measurement and analysis are performed with direct or indirect heating method excluding the throughput method. Recently, the development of the best TDS equipment, which adopts the indirect heating method to prevent errors due to the re-adsorption, is domestically proceeding. Study on the gas evolution based on those technology developmental issues, and the current status of measurement method, analysis, and TDS system of hydrogen and desorption energy are briefly introduced.
목차
서론(Introduction)
Gas Load (기체부하) 및 Outgassing (기체방출)
TDS (승온탈리분석)
Measurement Method (TDS 측정방법) : throughput and modified throughput methods
Theoretical Background (이론적 배경) : spectrum integration method
Hydrogen Desorption Issues (수소탈리 이슈)
요약 및 전망
References
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