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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2019.3
- 수록면
- 209 - 213 (5page)
- DOI
- 10.3795/KSME-A.2019.43.3.209
이용수
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박막은 MEMS(microelectromechanical system) 센서 및 전자소자와 같은 다양한 응용 분야에서 사용되며, 텅스텐은 특히 반도체 메모리 소자의 게이트(gate) 물질로 사용된다. 박막의 나노 기계적 성질은 거시적 상태의 특성과 다른 경우가 많으므로 특성 길이에 적합한 측정 기술이 필요하다. 본 연구는 마이크로 캔틸레버 공진 실험을 이용하여 나노스케일 텅스텐 박막의 기계적 특성을 평가하는 것을 목표로 한다. 초음파 발생기와 마이켈슨 간섭계를 이용하여 박막의 증착에 따른 마이크로 캔틸레버의 고유진동수 변화를 광학적으로 측정하였으며, 결과는 본 연구가 제안하는 방법으로 박막의 나노 기계적 특성을 효과적으로 평가 할 수 있음을 보여준다. 본 연구는 기존 접촉역학 기반의 평가법이 갖는 단점을 극복한다.
목차
초록
Abstract
1. 서론
2. 본론
3. 결과 및 토의
4. 결론
참고문헌(References)
참고문헌 (8)
참고문헌 신청
Waggoner, P. S. and Craighead, H. G., 2007, Microand Nanomechanical Sensors for Environmental, Chemical, and Biological Detection, Lab on a Chip, Vol. 7, No. 10, pp. 1238~1255.
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