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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
허경용 (동의대학교) 최훈 (동의대학교)
저널정보
대한전기학회 전기학회논문지 전기학회논문지 제68권 제1호
발행연도
2019.1
수록면
102 - 107 (6page)

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This paper proposes a method to improve the mass spectral detection performance of the residual gas analyzer. By improving the mode estimation method for setting the threshold value and improving the additive noise elimination method, it is possible to detect mass spectrums having low peak values of the threshold level difficult to distinguish from noise. Ion signal blocks for each mass index with noise removed by the improved method are effective for eliminating invalid ion signals based on the linear and quadratic fittings. The mass spectrum can be obtained from the quadratic fitted curves for the reconstructed ion signal block using only the valid ion signals. In addition, the resolution of the mass spectrum can be improved by correcting the error caused by the shift of the spectral peak position. To verify the performance of the proposed method, computer simulations were performed using real ion signals obtained from the residual gas analysis system under development. The simulation results show that the proposed method is valid.
#Residual gas analyzer #Noise reduction #Mass spectrum #Curve fitting #Linear fitting #Peak position error

목차

Abstract
1. 서론
2. 기존 알고리즘의 전처리 잡음제거 방법
3. 제안하는 질량 스펙트럼 검출 개선 방법
4. 컴퓨터 시뮬레이션
4. 결론
References

참고문헌 (7)

참고문헌 신청
B. L. Smith / 2016 / Development of a portable, low cost, plasma ionization source coupled to a mass spectrometer for surface analysis / Proceedings of the Conference of 2016 IEEE Sensors :1~3 google schola R. E. Finnigan / 1994 / Quadrupole mass spectrometers / Analytical Chemistry 66(19):969A~975A google schola S. Sujithra / 2014 / Development of control algorithm for quadrupole mass spectrometer using LabVIEW / Proceedings of the 2014 International Conference on Electronics and Communication Systems :1~5 google schola 박창준 / 2008 / 잔류가스분석기 (RGA)의 작동원리 / Applied Science and Convergence Technology 17(4):262~269 dbpia 최훈 / 2018 / 질량 스펙트럼 분석기를 위한 부가잡음제거 알고리즘 / 한국정보통신학회논문지 22(1):33~39 dbpia

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